三氟化氮
產品詳情：
產品描述
三氟化氮在常溫常態下是一種無色穩定的氣體。它具有良好的絕緣性和化學穩定性。三氟化氮不可燃，但能支持燃燒。當溫度在350以上時，氣體會慢慢分解產生強氧化的氟，因此在高溫時，它是一種強氧化劑。
理化指標
| Impurities | NF3≥99.995% Vol.% | NF3≥99.99% Vol.% | NF3≥99.98% Vol.% | NF3≥99.9% Vol.% |
| CF4 | ≤20 Vol.ppm | ≤40 Vol.ppm | ≤100 Vol.ppm | ≤500 Vol.ppm |
| N2 | ≤5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
| O2+Ar | ≤3 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
| CO2 | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
| H2O | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
| HF | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
| SF6 | ≤1 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤25 Vol.ppm |
| N2O | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
| CO | ≤0.5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
氣體物化特性
| 分子量 | 熔點 | 沸點 | 臨界溫度 | 臨界壓力 | 液體密度 | 氣體密度 | 水中溶解度 | CAS 號 | 危險性類別 |
| 71.01 | -206.8 ℃ (1atm) | -129 ℃ (1atm) | -39.3 ℃ | 44.02atm(4.46MPa) | 1554kg/m3(1atm 沸點時 ) | 2.95kg/m3(1atm 21 ℃） | 1.43*10-5 當量濃度 (1atm ， 22 ℃ ) | 7783-54-2 | 第2.3類有毒氣體在空氣中的最高允許含量爲29mg/m3 |
儲存及運輸
三氟化氮氣瓶應儲存於陰涼、通風倉庫內。三氟化氮氣瓶應遠離火種、熱源、防止陽光直射，與還原劑、易燃或可燃物等分開存放。
三氟化氮氣瓶在搬運時要輕裝、輕卸，防止鋼瓶及附件破損。
三氟化氮氣瓶的運輸按危險品運輸。運輸時用氣瓶固定架將三氟化氮氣瓶固定好，用汽車公路運輸或用輪船集裝箱運輸。
泄漏應急處理
如遇有三氟化氮氣體泄露，工作人員要馬上撤離泄漏污染區，並儘可能採取措施阻止三氟化氮氣體的進一步泄露。如有工作人員中毒，應立即送往醫院救治。
泄露現場要儘快處理，處理泄露現場的工作人員必須配戴必要的防毒面具，最好是自給正壓式呼吸器。泄露現場經檢測無危害氣體後方可進入工作人員，泄露容器必須經仔細檢查、維修或妥善處理好後方可繼續使用。
應用
三氟化氮已廣泛應用於電子行業，半導體，以及太陽能光伏產業等。它是一種很好的蝕刻清掃氣體，具有清掃無殘留，吹掃速度快，易分解等優點。
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